集微网消息 2月18日,辽宁证监局披露了拓荆科技股份有限公司(以下简称“拓荆科技”)辅导备案基本情况,其保荐机构为招商证券,已于1月28日进行了辅导备案。

官网显示,拓荆科技成立于2010年4月,是由海外专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技术企业,专业从事高端半导体薄膜设备的研发、生产、销售与技术服务。

目前,拓荆科技拥有12英寸PECVD(等离子体化学气相沉积设备)、ALD(原子层薄膜沉积设备)、3D NAND PECVD(三维结构闪存专用PECVD设备)三个完整系列产品,拥有自主知识产权,技术指标达到国际较先进水平。产品广泛应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等高端技术领域。

经过多年技术积累,拓荆科技已形成自主知识产权体系,截止到2020年9月底累计申请专利453项,荣膺国家知识产权局颁发的“国家知识产权示范企业(2019-2022)”称号。

在股权方面,据天眼查显示,拓荆科技最大股东为国家集成电路产业投资基金股份有限公司,持股比例为26.48%。持股5%以上的股东还有国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)、中微半导体设备(上海)股份有限公司、嘉兴君励投资合伙企业(有限合伙)、青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙),分别持股18.23%、11.2%、7.39%、6.57%。(校对/Lee)