这一突破，意味着中国成为了世界上第二家掌握双工作台核心技术的国家。

自2013年以来，华卓精科就一直致力于研究高精度的双工作台系统，想要在工作台系统上实现中国光刻机技术的赶超。在之后的几年里，该公司实现了超精密位移测量技术、超精密机电系统设计技术、超精密控制技术等核心技术的突破，这些技术的成功突破，奠定了我国双工作台研发的技术基础。2016年，在清华大学机械工程系教授朱煜牵头下，中国光刻机核心零部件顶级供应商华卓精科公司的光刻机双工作台通过国家科技重大专项（02专项）的项目验收。这一突破，意味着中国成为了世界上第二家掌握双工作台核心技术的国家。