半导体产业链
四、设备
1.光刻机:上海微电子(未上市,张江高科持股);
3.薄膜沉积设备:北方华创、拓荆科技;
4.原子层沉积设备:拓荆科技;
5.化学机械抛光设备:华海清科;
7.离子注入机:万业企业;
8.涂胶显影设备:芯源微;
9.去胶设备:屹唐股份(拟上市)、北方华创;
10.热处理设备:屹唐股份;
11.前道量测设备:精测电子、赛腾股份(收购Optima);
15.固晶机:新益昌;
补充:至纯科技(清洗设备,拓展炉管、涂胶显影设备等)、亚翔集成和圣晖集成(洁净室工程);
五、材料
2.电子特气:华特气体、南大光电、金宏气体、雅克科技、昊华科技、巨化股份;
3.掩模版:路维光电、清溢光电。上游材料供应商有菲利华和石英股份;
4.抛光垫:鼎龙股份;
5.抛光液:安集科技;
6.光刻胶:晶瑞电材、南大光电、彤程新材、上海新阳、容大感光、华懋科技;
9.第三代半导体材料:三安光电、天岳先进、露笑科技、东尼电子;
六、芯片设计韦尔股份、汇顶科技、澜起科技、兆易创新、卓胜微、紫光国微、圣邦股份、北京君正、乐鑫科技、博通集成、全志科技、上海贝岭、国科微、富瀚微、中颖电子、景嘉微、富满电子、晶丰明源、华胜天成、纳思达;
九、存储兆易创新、北京君正、东芯股份、佰维存储、聚辰股份、江波龙、德明利;
十、功率半导体斯达半导、士兰微、新洁能、宏微科技、时代电气、东微半导、扬杰科技、闻泰科技、捷捷微电、华微电子、华润微;
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