根据协议,瑞萨电子已向Wolfspeed支付了20亿美元(约144.9亿人民币)的定金,以确保6英寸/8英寸SiC晶圆的供应,并支持Wolfspeed的美国产能扩张计划。Wolfspeed将在2025年向瑞萨提供6英寸碳化硅衬底和外延片。此外,Wolfspeed位于北卡罗来纳州的查塔姆工厂全面运作后,将向瑞萨提供8英寸碳化硅衬底和外延片。 SiC生产:天岳先进露笑科技三安光电。 SiC设备:北方华创晶升股份晶盛机电#南方精工收割“4连板”# 

晶升股份
公司主营6-8英寸碳化硅单晶炉、8-12英寸半导体级单晶炉等长晶设备,已成功与沪硅产业(上海新昇)、立昂微(金瑞泓)、三安光电东尼电子等国内头部客户实现绑定。
预计收入23年5亿、24年突破10亿。23-25年净利润0.7 /1.3 /2.1亿元。
(1)碳化硅单晶炉:
1)需求端:国产衬底厂商加速扩产,由此催生衬底制造关键设备——长晶炉在技术升级、产能扩张双方面的需求。技术方面,产业链各环节持续推进碳化硅降本增效,因此要求碳化硅长晶炉在长晶速度、晶体尺寸、晶体高度以及晶体缺陷控制等核心技术上持续升级;产能方面,根据测算,22-26年国内衬底厂商产能CAGR超70%,新增产能对应国内碳化硅单晶炉市场空间约88亿元,为国产设备厂商提供广阔市场增量。
2)供给端:碳化硅单晶炉国产化较充分,公司及北方华创占国内碳化硅厂商采购份额约30%、50%,公司量产客户包括三安、东尼、晶越等国内龙头衬底厂商,并持续推进客户F、天岳先进等下游十余家新客户的批量供货,持续配合客户进行晶体性能优化,同时持续推进8英寸、电阻加热、LPE单晶炉等新品研发,未来有望深度受益碳化硅高增长。
3)晶升优势:A.产品定制化,满足不同客户需求(北方华创为标品);B.承诺不进入衬底市场,客户信任度高(晶盛机电自产设备和硅片);C.目前晶升碳化硅长晶炉份额20%+,未来市占率有望进一步提升。三安70%的碳化硅长晶炉由晶升供应,同时晶升也供货ST。三安扩产预计新增100万片碳化硅,对应长晶炉超过2000台,晶升预计获取1500台,对应12亿收入。
2、半导体级单晶炉:
1)需求端:根据测算,22-25年国内8英寸、12英寸硅片产能 CAGR分别约12%、39%,新增产能对应单晶炉市场空间约72亿元。
2)供给端:半导体级单晶炉国产化率仅30%,公司已实现沪硅产业(上海新昇)、立昂微(金瑞泓)、神工股份等国内龙头硅片厂商的批量供货,未来有望深度受益大尺寸硅片加速国产替代趋势。

晶盛机电
【光伏设备+半导体设备+光伏、半导体耗材】(对应23年20倍PE)
公司微信公众号发布,成功发布8寸单片式碳化硅外延设备,可兼容6&8寸碳化硅外延。此前2月晶盛机电已成功发布了6寸双片式碳化硅外延设备(型号为150D,产能600-650片),不到半年,再次成功推出8寸单片式碳化硅外延生长设备。
(1)兼容6&8寸:8寸设备基于6寸的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术,解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题,实现了成熟稳定的8英寸碳化硅外延工艺,相比于6寸,8寸碳化硅晶圆未来通过产量和规模效益的提升,成本有望降低60%以上。
(2)技术指标处于行业领先:目前晶盛机电在子公司晶瑞的8英寸衬底基础上,已实现8英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试,外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内,未来外延设备迭代方向将从单片到多片(单腔多片式或单片多腔式),增加单位产能、降低生产成本。
(3)国产替代领先:以往碳化硅外延设备主要由意大利的LPE公司、德国AIXTRON公司以及日本Nuflare公司所垄断,但国外龙头的产能严重不足,Nuflare产能基本供给美国,LPE年产能约30台,产能较为有限,AIXTRON由于设备稳定性问题目前未完全进入国内供应链。出于海外厂商产能瓶颈问题,晶盛机电6寸单片式碳化硅外延设备(型号为150A,产能350-400片)已实现国产替代,2022年公司外延设备市占率为国内第一。

$晶盛机电(SZ300316)$ $至纯科技(SH603690)$ $联动科技(SZ301369)$ 

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