中国科学院高能物理研究所信息显示,近期国家重大科技基础设施高能同步辐射光源(HE
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中国科学院高能物理研究所信息显示,近期国家重大科技基础设施高能同步辐射光源(HEPS)直线加速器通过了工程指挥部组织的工艺验收。HEPS直线加速器是电子的源头和一级加速器,基本按计划完成了建设任务。高能同步辐射光源(HEPS)设施建成后,将成为世界上发射度最低、亮度最高的第四代同步辐射光源之一。但100nm以下的光极易被固体吸收,需将DUV的透镜换成EUV的反射镜,而现有材料只有钼硅涂层能在13.5nm附近以70%左右的效率反射极紫外线,所以同步辐射光源子系统要用来光刻。
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