中国自主研发的EUV光源解决方案取得了重大进展。长春光学精密机械研究所（长光所）

$东方钽业(SZ000962)$  中国自主研发的EUV光源解决方案取得了重大进展。长春光学精密机械研究所（长光所）研发了LPP-EUV光源原理样机，这是一种极紫外光刻原理曝光装置，首次在国内实现了32nm 1:1 L/S的曝光图形。六镜样机系统的平均波像差小于35RMS，而光源原理样机的转换效率高达2.67%（任务书目标为2%），这一转换效率指标远高于任务书所定的目标。

此外，上海光机所与宇量升合作研发了一台1x千瓦/50khz的超高重复频率二氧化碳激光器，这也是用于EUV的激光系统。锡液滴通过精密微管道飞速进入光刻机光源腔体，激光器同步产生激光轰击锡液滴，产生极紫外线光。这些光通过物镜组件被聚焦到双工件台上。目前，全球唯一型号的30千瓦功率的二氧化碳激光器由TRUMPF提供。