天通股份申请晶体生长专利,有效降低晶棒氧含量
金融界2024年1月11日消息,据国家知识产权局公告,天通控股股份有限公司申请一项名为“一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法“,公开号CN117364225A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明公开一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法,属于晶体生长领域,是一种有效控制晶棒氧含量的长晶方法,该方法包括备料、引晶、放肩、等径和收尾步骤。长晶过程中,采用坩埚与晶体同向旋转的方式进行晶体生长,自引晶前稳温开启坩埚旋转,坩埚与晶体旋转方向都为籽晶安装于籽晶轴的旋紧方向,在放肩过程中根据晶体与熔汤的雷诺系数比,对晶体和坩埚转速进行分阶段设定,并在转肩阶段对PID设定提出较优解。等径步骤中,依照模拟结果保持最优坩埚与晶体旋转速度,直至收尾。通过晶体和坩埚转速的调整并配合温度PID调节,研发了一种晶体与坩埚同向旋转的方式进行长晶,有效降低晶棒氧含量,优化晶棒电阻率并避免相关氧析出缺陷
作者:金融界网站

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