展品预览 | CSE国际化合物半导体产业博览会展品提前看Ⅰ_财富号

2024年4月8-11日，一年一度化合物半导体行业盛会——2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会（简称“JFSC＆CSE”）将在武汉光谷科技会展中心举办。

目前，招展工作已进入尾声阶段，我们诚邀业界同仁共聚本届盛会，莅临展位现场参观交流、洽谈合作。

开展时间：2024年4月9-11日

场馆名称:武汉·中国光谷科技会展中心·一层(A1、A2、A3)

Welcome！

JFSC&CSE 2024

为此，我们将为您提前提供丰富的展品预览信息，记得收藏并且呼唤业内好友一起报名参观展会哦~

JEOL

展位号：A214号

JEOL是世界顶级科学仪器制造商，事业范围主要有电子光学仪器、分析仪器、测试检查仪器、半导体设备、销售和研发；其中电子光学仪器主要有透射电镜、扫描电镜、电子探针、俄歇电镜、光电子能谱及其周边设备等。

部分产品介绍

JEM-ARM200F NEOARM

球差校正透射电子显微镜

“NEOARM”标配了日本电子独有的冷场场发射电子枪和全新的高阶球差校正器（ASCOR），在200kV到30kV的加速电压下，均能实现原子分辨率观察与分析。

JEM-F200

场发射透射电子显微镜

全新外观设计，基于球差校正电镜的全新软件界面，四级聚光镜设计，实现束斑尺寸和会聚角度的单独控制。电子枪可以提供肖特基或冷场电子枪，提供更好的亮度和能量分辨率。皮米级测角台系统，样品杆进出也可以实现自动控制，更高级的DeScan扫描系统，实现更大范围的STEM-EELS分析，可选配双能谱仪，分析的高精度和高速度完美结合，可实现STEM、EDS三维重构功能。

JEM-ACE200F

全自动解析透射电子显微镜

JEM-ACE200F全自动解析透射电子显微镜，可以通过设定好的程序，自动找到观察位置，自动获得S/TEM图像及EDS信息，极尽高效。搭载冷场发射枪和球差校正器，性能卓越。

北京诚联恺达科技有限公司

展位号：A209号

诚联恺达科技有限公司成立于2007年，是一家以中科院为背景的专业研发团队及技术服务团队，目前已在北京、上海、深圳、成都等地设立分公司生产基地；专注真空焊接炉及半导体器件封装线的设计与开发，现与IGBT产业联盟、沈阳中科院、北京理工大学等高校及研究院合作，共同致力于半导体电子器件封装的研究与发展。目前已申请多项实用新型专利，软件著作权专利等。

在2018年公司成功服务客户超过500家，测试行业涵盖了IGBT大功率器件封装、汽车电子器件封装、LED共晶倒装、器件密封、大功率陶瓷等。同时，公司推出了IGBT及汽车功率器件封装整条线方案、二极管三极管免清洗封装整线封装方案、通讯模块及设备非标自动化，致力于为客户提供最优质的服务。

部分产品介绍

深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司

展位号：A109号

深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司成立于2010年5月,总部及研发中心位于深圳市罗湖区,是一家专注于绿色环保黄金材料及半导体金属应用材料技术研发和产业化应用、珠宝首饰智能制造为一体的国家高新技术企业、国家专精特新“小巨人”企业。公司研发的无氰环保镀金技术,以其工艺稳定、性能优异、安全环保著称，广泛应用于半导体、电子元器件、精密仪器仪表、珠宝首饰、钟表、高端卫浴等行业。

部分产品介绍

AURIFAB SC-1000产品

无氰弱碱性亚硫酸盐镀金液产品，适用于化合物半导体正面金属布线层以及背面通孔电镀。电镀过程中无有机物夹杂，镀层退火后的硬度约50-60HV，粗糙度Ra约20-40nm，镀液兼容国产正光刻胶，深孔镀填充率高达50%，镀液寿命可达3MTO。

北京华林嘉业科技有限公司

展位号：3T12号

北京华林嘉业科技有限公司（简称CGB），总部坐落于北京经济技术开发区，生产基地位于河北省廊坊香河机器人产业园。CGB公司主要从事第三代半导体、半导体材料、功率器件、集成电路制造、微机电系统（MEMS)、5G化合物半导体、光通讯、新能源光伏、平板显示、科研设备等领域湿法制程设备的研发、生产和销售。作为国内高端湿法制程设备供应商，我们严格按照国际质量管理体系标准进行全员、全方位、全过程的运行，经过十几年经验沉淀，CGB积累了雄厚的研发实力并保持持续创新能力，赢得了更广泛客户的认可。未来，公司愿与客户共同成长、共同发展，为推动中国半导体、太阳能光伏和平板显示产业的进步做出贡献。

部分产品介绍

产品名称：全自动最终清洗机

产品型号：CGB-WB150系列

产品介绍：该系列设备为我公司开发的专利产品，涵盖了全部的RCA清洗技术，通过合理有效地药液槽布局排列，结合超声(兆声)技术，专业应用于SiC衬底和SiC外延片最终清洗，通过自主开发的控制软件，有效地将多ROBOT运动轨迹，与清洗工艺有机结合，避免了交叉污染，保证了清洗工艺的顺利实施。集成在线的Spin Dryer或Marangoni dryer单元，保证了晶片干进干出，便于晶片进入下一工序。

本设备具备完善的安全防护设施，配备了10级FFU，用于十级或百级净化间。整个清洗过程，不需要人为干预。采用本设备清洗后的6英寸SiC晶片，表面颗粒达到<30颗/片@0.3微米，表面金属杂质残留<5E10（16种金属离子），完全满足SiC器件工艺对表面的技术要求。

产品名称：过程清洗机系列

产品介绍：该系列设备涵盖Si/SiC衬底片加工全过程的清洗工艺，包括晶棒滚圆后的清洗、切片的脱胶与清洗、研磨片的清洗、抛光片的预清洗等工艺过程，同时包括了石英管清洗机、外延炉钟罩清洗机等，为客户提供衬底片加工过程的全线清洗工艺解决方案。各设备针对相应的工艺特点，制定了适当的工艺处理槽和清洗工艺，同时针对不同客户，接受客户的定制需求。

产品名称：刷片机

产品概述:

设备用于6、8英寸衬底片在CMP后的清洗及外延片的过程清洗，主要去除晶圆上残留的物理颗粒。

设备主要由(浸泡)上料台模块、对中翻转模块、刷洗工艺腔体、下料台模块、可横向移动双臂机械手模块、供排液系统、排风系统、中央控制系统等组成。刷洗工艺腔体具备Brush刷洗、高压二流体清洗、氮气吹干、离心甩干等功能。

产品特点/优势：

·可实现6、8英寸晶圆兼容

·可自动实现晶圆正反面的翻转与清洗；

·可选择配置有湿进干出或者干进干出;

·集成4套刷洗腔体，产能最高可达50片/小时；

·SiC片表面颗粒去除能力可达到≤200ea@0.3m。

大连华邦化学有限公司

展位号：3T22号

大连华邦化学有限公司由中科院多位气体纯化专家与归国学者联合成立的高新技术企业，2019年认定为省蹬羚企业，2022年获评为“国家专精特新小人企业”。团队掌握催化剂、吸附剂、Getter等核心技术专注于纯化技术20年。主要产品体系:超纯气体纯化器的研制生产、加氢催化剂、NOx净化装置,以及超纯气体现场供应及管理;

华邦化学拥有以化物所专家与海归博士为带头人的科研团队,组建“ppb级高纯气体纯化器研发团队。成功研制了HPC-9N系列纯化器,并且产品已成功应用于国内多条12英寸产线(大连、北京、上海、武汉、合肥等)，以及数十条6~8英寸、TFT、LED、IGBT等产线,并可为客户提供超纯气体现场供应及管理、维保服务。

部分产品介绍

光洋新材料科技（昆山）有限公司

展位号：3T33号

光洋应材以贵稀金属回收精炼为平台，发展出应用循环模式（close-loop model),完善绿色环保及洁净生产的指标，发展贵稀金属材料的应用，并以全制程配套服务（Inside Chamber Total Solution,ICTS),研制薄膜用靶材，应用于光碟、硬碟、半导体、光电及太阳能等，以价值创新、深耕关键材料的发展，同时借由整合台湾精材与德扬科技两家子公司，供应硅、石英、陶瓷等零组（套）件与零件清洗、工件修复服务，由原料提供、靶材生产、组件生产维修、零件清洗、回收精炼至贵稀金属管理，建构一条龙的产品与服务，满足客户一站式的需求。

部分产品介绍

主营产品

*光储存 Ag、Ag alloy、Al、GeSbTe、Si

*表面装饰功能镀膜 Al、SUS、Cu、NiV、AlTi 、AlCr

*电子元件（石英振荡器/电阻） Au、Ag、Cr、Ni、NiCr、NiCrSi、CrSi

*大面积镀膜（Low-E）Ag、NiCr、Ti、Sn、ZnAl、Si

*半导体（IC封装、金凸块、分立器件 Au、TiW、Ti、Cu、Cr、AlSi 平面

杭州富加镓业科技有限公司

展位号：1T45号

杭州富加镓业科技有限公司成立于2019年12月31日，是杭州光学精密机械研究所注册成立的第一家“硬科技”企业，并于2023年获得国家高新技术企业认定。主要从事氧化镓单晶材料生长、氧化镓衬底及外延片研发、生产和销售工作，产品可应用于微波电子、电力电子等各领域内。目前公司共获得35项国内授权专利，其中发明专利已授权10项，实用新型专利已授权25项；软件著作已授权2项，商标已授权1项。

部分产品介绍

介绍一：2寸/4寸氧化镓晶圆

利用导模法(EFG)生长的 UID 及锡掺杂 Ga2O3晶体(100),加工得到 2 英寸 /4 英寸氧化镓晶圆。

介绍二：氧化镓外延片（MBE）

基于分子束外延(MBE),在半绝缘的Fe 掺杂 Ga2O3 (010)衬底上生长 Sn 掺 Ga2O3同质外延薄膜。

介绍三：氧化镓外延片（MOCVD）

基于金属有机化学气相沉积(MOCVD)，在导电型 Sn 掺杂 Ga203 衬底上生长Ga2O3同质外延膜。

杭州幄肯新材料科技有限公司

展位号：3T01号

幄肯科技是专注于高端热场材料研发及生产的高新技术企业。幄肯主要产品包括高纯碳纤维热场材料、高纯石墨材料、碳碳复合材料、SiC涂层产品及其他碳基复合材料等。目前幄肯产品已广泛应用于SiC及化合物半导体长晶、Si基半导体长晶、光伏拉晶和镀膜、光通信预制棒生长&光纤拉丝、蓝宝石&LED长晶、高端热处理与粉末冶金行业等相关领域，可为客户提供整套热场材料应用技术方案及服务。

部分产品介绍

幄肯目前已掌握全部碳纤维成毡技术，独创以碳纤维软毡为原料生产固化毡，并经过2400℃高温石墨化一次成型。硬毡采用密度梯度法结构工艺，并进行各种表面工艺处理或纯化处理，强度更高、耐氧化性能更好、孔隙率高。所有成毡设备、浸渍设备、固化成型设备、碳化和石墨化设备、高温化学纯化设备实现自主研制。

优点： 高机械强度良好的隔热性突出的热稳定性高纯度、杂质含量低极好的抗震性和耐腐蚀性使用寿命长。

应用：主要用于真空或惰性气体保护下的高温环境，如半导体晶体生长炉、光伏单晶硅/多晶硅炉、光纤预制棒和拉丝炉、蓝宝石生长炉、高端金属热处理炉等。

幄肯采用独特的气流成网技术，较高的均匀性、化学性能理想的纤维网络结构和较好的毡体拉伸、强度特殊的制造工艺，所制成的石墨软毡具有高保温性和高纯度。

优点：高温隔热性好突出的热稳定性、膨胀系数低高纯度、杂质含量低高匀度、厚薄均匀抗腐蚀、使用寿命长。

应用：主要用于真空或惰性气体保护下的高温环境，如SiC感应炉/电阻炉、硅单晶/多晶炉、高温烧结炉，光纤制棒/拉丝塔、热工高温炉等。

国内绝对领先的纯化工艺，纯度提纯至5ppm以下，纯化深度为单边50mm，同时释放加工应力使石墨材料在热场超高温环境中不产生形变和提升产品寿命。

深圳市汉诺精密科技有限公司

展位号：3T24号

深圳市汉诺精密科技有限公司成立于2013年7月，是国内领先的超高精密运动控制系统创新公司，专注于微米、纳米定位技术的创新与研发、制造与应用，是国家高新技术企业及专精特新企业。以精密直驱运动产品为主营业务，主要包括：EFEM晶圆移栽模组系统、高精度直线电机、超高精度运动平台、半导体检测平台、运动控制系统等。

部分产品介绍

1、纳米级气浮检测平台