3月19日,中科创星官微发文称,张家港安储科技有限公司(下文简称“安储科技”)宣布已完成Pre-A轮融资,本轮融资由中科创星领投,天汇资本和张家港智慧创投跟投。资金将用于产能扩建与设备研发。据介绍,安储科技成立于2020年,专注于先进电子材料研发、生产和销售,主营产品为配方型功能电子化学品(如抛光液、清洗液, 湿法刻蚀液, 光刻胶剥离液等)以及电子特气安全存储负压钢瓶两大产品系列。中科创星提到,碳化硅(SiC)作为宽禁带半导体,适合高压、大电流的应用场景,近年来受到新能源汽车、光伏储能等行业影响,市场增速极快,国内SiC产业也在2021年~2022年得到迅速发展。但SiC衬底硬度高、脆性大,给抛光带来了极大难度。而抛光后因其晶圆和机台的清洗工艺流程更长,也提高了SiC晶圆的制造成本。因此,目前SiC衬底的抛光液和清洗液由国际厂商主导,在国内仍属新兴领域。在SiC衬底抛光清洗上,安储科技拥有抛光液、抛光后晶圆清洗液、抛光后机台抛光垫清洗液全工艺环节耗材产品。与传统方案相比,安储科技的产品性能更加优异,成本更具竞争优势。在SiC衬底抛光液方面,目前Fujimi、Ferro、卡博特(Cabot)、圣戈班(Saint-Gobain)等国际厂商占据全球大部分市场,这些厂商普遍采用氧化铝作为研磨颗粒。安储科技则创新性的采用了金属氧化物作为研磨颗粒,其ACTL-WS系列抛光液不仅拥有较高的抛光速率,同时可获得低表面粗糙度,低缺陷的晶圆表面。而且抛光液可以循环使用,降低客户使用成本。文:中科创星、集邦化合物半导体整理

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