第四代半导体材料即将面市：2、CVD大尺寸金刚石衬底市场CVD金刚石可作为高新技

 第四代半导体材料即将面市：

2、CVD 大尺寸金刚石衬底市场

CVD 金刚石可作为高新技术材料在半导体、光学、量子技术等工业领域有广阔的应用空间。CVD 法 合成金刚石具有尺寸大、低杂质浓度、高结晶质量等优点，在大尺寸、高纯度金刚石制备与掺杂研究方 面优势更明显，电学、光学、热学、声学等方面性能优异，是一种具有巨大开发潜力的功能性材料。近 年来各国陆续布局半导体产业，产业化进程快速崛起。金刚石禁带宽度达 5eV，是当前单质半导体材料 中带隙最宽的材料，同时具有高击穿电场、大饱和载流子速度、高载流子迁移率和底介电常数等优异电 学性质，被认为是制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件最有希望的材料，有望成为第 四代半导体材料。