华科大依然是华工科技的大股东之一。九峰山实验室一直在与华工科技合作、技术成果产业化,包括首台国产高端晶圆设备。
【国产光刻胶技术,重大突破!】
4月2日,据《科技日报》记者从华中科技大学获悉,该校与湖北九峰山实验室组成联合研究团队,突破“双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶”技术。
【22年如一日,这位新晋院士研发光刻机减振器,填补国产空白
中国光谷 2024-04-03 】
芯片生产离不开光刻机,为提高光刻超高精度加工能力,中国工程院院士陈学东,22年如一日
攻克光刻机减振器研发瓶颈。
【华工科技2023年度业绩说明会直击】
“华工科技自主研制的第三代半导体晶圆激光切割装备已在九峰山实验室完成测试,发往首个客户处。”华工激光副总经理、精密微纳加工事业群总经理王建刚介绍,公司目前开发的半导体装备产品覆盖化合物半导体前道和后道制程,包括碳化硅衬底外观缺陷检测,晶圆激光标刻装备、晶圆激光退火装备,晶圆激光表切装备、晶圆激光隐切装备,和碳化硅晶圆关键尺寸测量设备等。
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