今天国产半导体量测设备厂商东方晶源通过官方微信公众号宣布，已完成新一轮10亿元股权融资。本轮融资由赛领资本、深创投领投，众多知名投资机构联合投资。此轮融资将有助于东方晶源加快在集成电路前道电子束检测、计算光刻系统等核心产品的研发进程，加速在集成电路良率管理领域的整体布局。
东方晶源成立于2014年，创立之初即确立了以电子束图像检测、关键尺寸量测和计算光刻技术为主攻方向。多年来，在客户、股东及各级领导的支持下，东方晶源业绩斐然。截止目前，东方晶源成功自主研发了计算光刻软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）三款核心产品，填补了多项国内市场空白，已经成为解决我国集成电路领域“卡脖子”问题的重要力量，对全产业链自主可控具有重要的战略价值和意义。
近几年，在国家大力发展集成电路产业的浪潮下，东方晶源多年来的深厚技术研发积淀产生了巨大的发展动能，企业实现跨越式发展。从2020年下半年开始，东方晶源加速转型升级，由研发型组织向全业务链组织迈进，产业化进程突飞猛进。2021年上半年更是硕果累累：CD-SEM成功出机国内晶圆代工龙头企业，市场地位进一步夯实；02国家重大专项、工业强基等项目顺利推进；成功被评定为第三批国家级专精特新“小巨人”企业。此外，在客户的支持下，公司一举拿下多个重要订单，东方晶源三款核心产品均已在客户产线验证并实现订单，三款产品也因此填补国内空白，为我国集成电路制造国产化做出重要贡献。
在企业飞速发展的关键时期，本轮融资恰逢其时。按照规划，本次融资将主要用于持续加强公司的研发投入，打造公司的产品矩阵，提高优势产品的核心竞争力。同时，进一步引进更多优秀人才，加强产品大规模交付能力，进一步完善供应链体系建设等方面，为企业未来腾飞奠定基石。
东方晶源表示，“相信在各方的共同努力下，东方晶源必将达到全新的发展高度，不负时代的重任，为我国集成电路产业自主可控贡献更多力量！”
华芯资本合伙人梁东健表示：东方晶源三款经过产线验证并进入量产的电子束检测、量测设备，通过不断迭代升级，产品性能取得大幅提升。电子束缺陷检测设备EBI已进入28nm产线全自动量产超过2年，Uptime超过90%，UT（设备使用率）超过80%，电子束图形分辨率、最大视场、关键缺陷抓取率等关键指标已达到行业主流水平。12英寸、6/8英寸关键尺寸量测设备CD-SEM均已进入产线量产多时，可支持Line/Space, Hole/Elliptic, LER/LWR等多种量测场景、满足多种成像需求。此外，东方晶源CD-SEM还具备基于设计版图文件离线编辑Recipe功能（选配项）。值得一提的是，东方晶源推出的12英寸EBI和12英寸、6/8英寸CD-SEM均为国内首台，填补国内相关领域空白。
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