根据QYResearch研究团队调研统计，2023年全球晶圆缺陷明暗场检测设备市场销售额达到了 亿元，预计2030年将达到 亿元，年复合增长率（CAGR）为 %（2024-2030）。中国市场在过去几年变化较快，2023年市场规模为 亿元，约占全球的 %，预计2030年将达到 亿元，届时全球占比将达到 %。 根据本公司“半导体研究中心”调研统计，半导体制造设备全球销售额从2021年的1,032亿美元增长5.6%到去年创纪录的1,090亿美元。2022年半导体制造设备销售额创历史新高，源于该行业推动增加支持关键终端市场（包括高性能计算和汽车）的长期增长和创新所需的晶圆厂产能。
2022年，中国大陆市场半导体设备销售额达到了285亿美元，同比下滑4.5%；中国台湾半导体设备销售额紧随其后，达到了265亿美元，同比增长了7.4%；韩国市场全球排名第三，销售额达到了210亿美元，同比下滑16.2%；北美销售额为106亿美元，同比增长40%。日本销售额为82亿美元，同比增长6.7%；欧洲销售额为61亿美元，同比增长90%。 本文侧重研究全球晶圆缺陷明暗场检测设备总体规模及主要厂商占有率和排名，主要统计指标包括晶圆缺陷明暗场检测设备产能、销量、销售收入、价格、市场份额及排名等，企业数据主要侧重近三年行业内主要厂商的市场销售情况。地区层面，主要分析过去五年和未来五年行业内主要生产地区和主要消费地区的规模及趋势。
本文主要企业名单如下，也可根据客户要求增加目标企业： KLA-Tencor 日立 Lasertec Corporation 应用材料 InnoLas Solutions NextIn Solutions Nano System Solutions 日本东丽 FRT GmbH Onto Innovation 上海精测半导体技术 睿励科学仪器 深圳中科飞测 中导光电 华工激光 。按照不同产品类型，包括如下几个类别： 明场检测 暗场检测 。按照不同应用，主要包括如下几个方面： 2-4英寸晶圆 4-8英寸晶圆 8-12英寸晶圆 其他。
1.1 产品定义及统计范围
晶圆缺陷明暗场检测设备是指用于检测晶圆缺陷的明场和暗场检测设备。在半导体制造过程中，晶圆是非常重要的部件，因此需要经过严格的检测以确保质量和性能。明场和暗场检测是用于检测晶圆表面缺陷的两种常用检测技术。
明场检测是指在明场条件下，通过强光源照射，晶圆表面平坦的区域会反射光线，而凹凸不平或有缺陷的区域会吸收或散射光线，形成明暗对比，以便可以检测到缺陷。
暗场检测是指在暗场条件下，照射到晶圆表面的光线受到严格限制。只有当光被缺陷散射或反射时，探测器才会捕获它。该技术对于检测透明或半透明缺陷特别有用。
这些设备通常配备有高分辨率摄像头、光源、图像处理软件等，能够快速、准确地检测晶圆表面的各种缺陷，包括但不限于颗粒、裂纹、气泡等。通过这些检测设备上，制造商可以及时发现并修复晶圆上的缺陷，提高生产效率和产品质量。
图 1：晶圆缺陷明暗场检测设备产品图片
资料来源：第三方资料及QYResearch整理
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