利用EBSD分析技术探索磁性材料的研究进展

“EBSD技术是一种基于扫描电子显微镜下的背散射电子衍射菊池线的结晶方位分析方法。该技术已成为研究显微组织结晶学特征的有力工具，具有以下几个优点：直接联系显微组织与晶体学；快速准确地获取晶体空间组员大量信息；可选择广泛视野范围进行分析。通过装备EBSD附件的扫描电子显微镜，可以对样品在亚微米级尺度内进行晶体结构分析。近年来，EBSD技术因其显著的分析特点而快速广泛应用于磁性材料领域。”

EBSD分析技术

3.自动标定

EBSD方法中，菊池线对的数量远多于透射菊池电子衍射图中，往往不止2对。因此，使用三菊池极法可以更精确地测定晶体取向。为了提高EBSD效率和实用性，利用计算机自动标定菊池电子衍射图并测定样品晶体学取向是非常关键的。目前，EBSD软件中主要采用Hough变换。在Hough变换中，将EBSD上各点的强度按空间坐标公式绘制在Hough空间中。然后选择几条光带（通常是7条），从任意3组光带配置关系中可以计算出各光带间的角度，从而计算出结晶系和方向，以达到与所给的结晶系模拟图像比较吻合的效果。通过EBSD的数据测定，可以获得理想取向、极图、反极图、欧拉角、晶粒间取向差等信息。

在磁性材料中的应用