电子特气是光刻机的重要耗材 一凯美特气

$凯美特气(SZ002549)$  

电子特气是光刻机的重要耗材 一凯美特气

公司准分子激光气体已被列入海外准分子激光设备厂家的准分子激光气供应名录，光刻气产品积极切入海外一流半导体厂商供应链，用于先进制程的光刻环节

在晶圆制造流程中，从单个芯片生成到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子气体。

根据SEMI 数据，2021年全球晶圆制造材料成本中硅片占比最高为35%，电子特气占比13%。

电子特气行业技术壁垒很高。一是深度提纯技术难度大

二是对包装和储运有特殊要求，以避免二次污染的发生。很多企业花了数十年还无法攻克最初的容器清洗达标这一关，凯美特气具有国内外尖端的钢瓶洁净处理技术，让钢瓶内壁达到镜面效果；

三是要有极高的分析检验技术。凯美特气拥有专业的高纯气体及混配气体分析实验室

光刻机的分支里面包括了光刻气

光刻气是光刻机产生深紫外激光的光源，气体激光器是利气体作为增益介质的激光器，激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能。光刻气等电子气体作为半导体制造过程中重要耗材，芯片厂商通常会采用 ASML推荐认证过的产品和服务。