半导体设备零部件近况交流 0606

半导体设备零部件近况交流 0606

Q:为什么选择此时分享半导体设备硬件公司的最新情况？

A:我们选择在此时分享，主要基于两点考虑。首先，近期半导体国家三期基金的成立，预示着半导体产业链国产化进程将进一步加速，这是一个不可逆转的趋势。这为国产半导体设备及关键零部件的发展提供了强有力的政策支持和资金保障。其次，我们观察到自去年至今年，我们关注的如射频电源、真空泵等关键部件，在设备制造端展现出了良好的增长态势，显示出该领域的国产替代进程正在稳步前行。

Q:半导体零部件市场的现状如何？

A:半导体零部件市场空间巨大，细分领域众多。我们重点关注的几个核心零部件，包括射频电源、真空泵、洁净室过滤器耗材以及气体供应介质等，各自市场规模大约在50亿到70亿之间，而目前的国产化率普遍低于10%。这意味着巨大的国产替代空间和市场机遇。

Q:推荐的公司及其产品具体是哪些？

A:我们推荐的几家公司及其主打产品包括：英杰电气专注于射频电源，该产品主要用于刻蚀和沉积设备，占设备成本约12%，价值量占比约8%；正帆科技在真空泵方面有所建树；美埃科技则涉及洁净室耗材领域。这些公司在各自的细分市场中正积极进行国产替代。

Q:英杰电气在射频电源领域的进展如何？

A:英杰电气在射频电源领域取得了显著进展，尤其在国内市场。目前，国频电源市场规模估算约为40亿至50亿，但主要由MKS等海外供应商主导。英杰电气凭借其技术优势，已成为国产化替代的领头羊。自2022年9月起，英杰电气已在国内刻蚀设备龙头企业的机台上实现了量产，并在其他几款机台上实现了小批量生产，预计今年内将完成近十个机台的样机全覆盖。2022年，公司射频电源已进入批量供应阶段，订单量大幅增加，上半年加速放量，全年订单规模有望实现大幅增长。

Q:PECVD设备上的射频电源市场情况与英杰电气的参与程度？

A:在PECVD设备方面，虽然英杰电气与国内设备制造商的合作较刻蚀设备稍晚，但考虑到PECVD所需射频电源型号较少，验证难度较低，这为英杰电气提供了有利条件。公司已与国内PECVD设备龙头展开了合作，预计未来随着合作深化和技术验证的推进，英杰电气在PECVD设备领域的市场份额也将逐步扩大，进一步巩固其在半导体核心零部件国产化替代中的领先地位。

Q:公司在PCVD设备领域的市场表现如何？

A:公司已成功实现了PCVD龙头设备所有型号的全面覆盖，市场占有率预期不仅超越了先前预估的低于50%，更有望达到或接近这一水平。此前，公司主要聚焦于少数型号的规模化生产，而今年则实现了全型号覆盖，并在射频电源的升级方面加速推进国产化进程。此外，公司与几家半导体头部设备制造商的送样合作进展顺利，预计在2025年和2026年间，半导体射频电源的签约及业绩实现将快速增长。

Q:GasBox在半导体干法设备中的作用是什么？

A:GasBox主要用于干法设备中，其功能是将工艺气体集成在受控环境下，并根据工艺需求进行气体的转换、分配和混合，对关键气体实现精准控制。它约占干法设备成本的8%到10%。

Q:中国大陆GasBox市场的现状如何？

A:目前，中国大陆GasBox市场规模估计超过50亿人民币，主要由海外企业如超科林和富士金主导，国产化率不足10%。但随着公司加大对GasBox业务的投入，预计2024年国产化率将提升至30%或更高。公司通过设立红格半导体布局该业务，自2022年起已实现GasBox的全面稳定生产，其中80%-90%的订单来自半导体行业，剩余部分来自光伏电池片行业。

Q:公司在半导体行业的GasBox业务进展如何？

A:公司的GasBox已广泛覆盖国内一线半导体设备商，并通过了验证，这些设备商持续下单，表明公司产品已度过验证期，磨合效果良好，正进入加速放量阶段。未来将主要针对设备新型号进行简化的验证工作。

Q:公司在光伏电池片行业的GasBox应用情况？

A:公司的GasBox已向迈威股份等光伏电池片设备厂商批量供应，显示出在光伏领域的应用潜力，预计2024年GasBox的签单增长将保持高速增长态势。

Q:干式真空泵在半导体设备中的重要性及市场状况？

A:干式真空泵是半导体制造的关键部件，广泛应用于拉晶、CVD等多个环节，对性能、效率、可靠性和稳定性要求极高。中国大陆和中国台湾地区的干式真空泵市场总规模约为80亿人民币，其中海外供应商如爱德华和伊巴拉占据约90%市场份额，本土企业以汉中经济和中科仪为代表。

Q:公司在真空泵市场的表现及发展趋势？

A:在光伏领域，公司真空泵市占率领先，拉晶端超过70%，电池端的国产替代也在加速，预计今年市占率可望达到35%或更高。半导体领域，公司与中科仪在清洁制程工艺方面已通过验证，逐步扩大销售，产品自去年起已进入小批量交付阶段，对于更严格的制程，测试工作也在加速进行。去年，公司半导体真空泵收入超过1亿元，主要面向台湾地区的Fab厂，得益于设备更新换代的需求。随着技术成熟和市场拓展，公司未来在半导体真空泵市场的份额有望进一步提升。

Q:中国大陆地区半导体真空泵市场的现状如何？

A:在中国大陆地区，由于半导体产业起步相对较晚，真空泵的使用年限一般为严苛环境下5到8年，普通环境约10年。鉴于此，公司当前在中国大陆市场的真空泵业务主要集中在增量市场。此外，相较于终端产品，设备商在推进国产替代方面更为积极。尽管去年公司半导体真空泵的整体增速有限，但在测试端，尤其是在严苛制程的验证方面，进程已明显加快。得益于这两年的加速验证和产能扩张，我们持保守态度预计，公司半导体真空泵将在2025年底至2026年初迎来集中放量期。