“此次公司申报参与奖项评选的“超快深紫外皮秒激光器 AMT-266-3W-70MHZ”
是国内首先推出工业化的高重频、高功率深紫外固体激光器，
拥有衍射极限的光束质量，极窄的光谱线宽，长期稳定可靠，核心指标（光束质量M平方因子、光谱线宽、单点和整机寿命）
达到国际同行（美国Coherent、日本Oxide）领先水平，是成熟的工业级产品。
目前通过国内行业关键客户的性能测试和单点1000hrs 寿命测试，
达到28nm以及更先进制程的晶圆缺陷检测设备的需求，实现小批量生产。
高重频、高功率深紫外超快激光器是晶圆缺陷检测装备的核心部件，
长期被国外垄断，并且面临被卡脖子风险。英诺激光率先打破国外在深紫外激光领域的垄断，
实现国产替代，解决“卡脖子”问题，推动我国半导体和集成电路产业的升级，助力提升国家高端制造能力。”
追加内容
本文作者可以追加内容哦 !
