蓝英装备（沈阳蓝英工业自动化装备股份有限公司）的参股企业信息如下：

蓝英装备的子公司：蓝英装备拥有多家子公司，其中包括其在工业清洗及表面处理领域的子公司，例如SBS Ecoclean集团。SBS Ecoclean集团是蓝英装备旗下企业，专注于工业清洗和表面处理系统，提供国际领先的解决方案。

光刻机相关业务：蓝英装备曾在互动平台表示，其精密清洗业务的芯片行业企业客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司。这表明蓝英装备通过其子公司或业务部门，与光刻机制造企业有业务往来，可能涉及提供清洗设备和服务。

财务情况：蓝英装备的子公司UCM AG，主营清洗设备的研发、生产、销售。根据公开信息，UCM AG对ASML及其供应商的新增订单约5100万元，其中2018年已实现并确认ASML及其供应商的营业收入约为612.24万元。

参股控股公司数量：蓝英装备参股或控股的公司数量达到55家，其中合并报表的有50家。

股价和市场表现：蓝英装备的股价曾因涉及光刻机概念而出现大幅波动。公司在公告中提到，自身不是光刻机制造商，而是为光刻机制造企业的合资（参股）公司提供超高精细清洗设备及解决方案。

具体的参股企业名称和详细情况可能需要通过官方公告或财务报告获得更准确的信息。如果需要进一步的详细信息，建议查阅蓝英装备的最新公告或年报。