在一张超薄的玻璃板上，用比头发丝还细几十倍的针孔，精准雕刻出纷繁复杂的电路图案，仿佛在针尖上建起一座摩天大楼……这一科幻情景在光谷已经变为现实。
近日，华工科技子公司——华工激光自主研发了激光诱导微孔深度蚀刻技术（LIMHDE制孔），该技术最小孔径仅5m，径深比可达1:100，为解决先进封装“卡脖子”难题提供国产方案。
封装是芯片制造过程中的关键环节。随着传统光刻技术逐渐接近极限，芯片封装的重要性被提升至前所未有的高度。
如果将芯片比作一个家庭，那基板就是这个家庭所居住的“房子”。在人工智能和大数据兴起的当下，传统有机基板已难以满足高性能芯片的封装需求，玻璃基板应运而生。
要想让芯片在玻璃基板上实现电子信号的高速传输，玻璃通孔技术必不可少，这项技术就像是在玻璃上打通一个个微型通道，连接起芯片内部的不同部分，让芯片性能飞速提升。
“通俗来讲，玻璃通孔技术就是用激光在一个指甲盖大小的玻璃晶圆上，均匀打出100万个微孔，并用金属填充，进而在玻璃基板上制造垂直互连的通道。”华工科技子公司华工激光精密事业群总工程师程伟介绍，目前国内还没有类似硅的深孔刻蚀工艺，快速制造具有高深宽比的玻璃深孔或沟槽难度较大。
“从行业整体进程来看，玻璃基板在先进封装领域的研发尚处于初期阶段。”程伟表示，本次华工激光自主研制的LIMHDE制孔技术采用最新一代超短脉冲激光技术，可实现高纵横比和径厚比的微加工，并且微孔平滑、无微裂隙、无碎屑、无应力，不会在玻璃中产生多余的裂纹。相比传统玻璃穿孔技术，该技术拥有更好穿孔质量、更小加工半径和更深加工深度。
面对玻璃基板在先进封装领域的技术挑战，早在2021年，华工科技便组建起一支团队，经过两年多时间持续攻关，最终在激光诱导微孔深度蚀刻技术方面取得自主性科研突破，并推进产学研用一体化发展，目前已在玻璃基板加工领域实现应用。
样品加工效果
“在研发方面，我们针对玻璃、石英等不同类型的材料定制化开发了诱导微孔激光头；在实际应用层面，我们积极联合一些知名高校和国家级材料实验室共同进行工艺开发，解决了玻璃通孔的效率、精度、以及激光和蚀刻参数配合的问题。”
科技创新是企业发展的原动力，高强度、高水平、高效率的科研投入驱动科技型企业创新发展。2023年，华工科技研发投入达7.5亿元，同比增长33.92%。
未来，华工科技将继续提升玻璃通孔的加工效率，扩大应用范围，提高软件的易用程度，为实现该项技术的产业化及封装产业升级做好准备。
$华工科技(SZ000988)$
武汉东湖新技术开发区简称东湖高新区，又称中国光谷、简称光谷，于1988年创建成立，是中国首批国家级高新区、第二个国家自主创新示范区、中国（湖北）自由贸易试验区武汉片区，并获批国家光电子信息产业基地、国家生物产业基地、央企集中建设人才基地、国家首批双创示范基地等。集聚了武汉大学、华中科技大学等42所高等院校、56个国家及省部级科研院所、30多万专业技术人员和80多万在校大学生，是中国三大智力密集区之一。光电子信息、生命健康和北斗产业的核心主战场必然锁定在东湖高新区。
万润科技的大股东和实际控制人（长江产业投资集团、湖北省国资委），与东湖新技术开发区没有直接关联关系；
$东湖高新(SH600133)$ 的大股东和实际控制人（湖北省建投集团、湖北省国资委），与东湖新技术开发区没有直接关联关系；
$祥龙电业(SH600769)$ 大股东和实际控制人（湖北葛化集团、东湖高新技术开发区管委会），是标准的血缘嫡亲关系。近段时间李逵（600769祥龙电业）竟然输给了李鬼（600133东湖高新），东湖高技术开发区成了笑柄。
1、武汉光谷超级算力有限公司是我国最大的集装箱超算中心，也是全国首个集人工智能和超算的多样化云服务化算力集群，公司的大股东和实际控制人（湖北科投集团、东湖新技术开发区）；
2、长江存储的大股东和实际控制人（实控人湖北科投集团、东湖新技术开发区）；
3、 武汉人工智能研究院是由东湖高新区出资、中科院自动化所自主运营的国企。聚焦人工智能前沿，打造产业发展高地（实控人东湖新技术开发区）；
4、武汉光谷数字产业集团有限公司成立于2022年3月29日，是一家从事软件和信息技术服务业为主的企业，是武汉光谷金融控股集团有限公司的独资子公司。公司作为东湖高新区国有平台承担“数字光谷”建设及运营任务，公司致力于深化数据资产管理与开发利用，创新拓展智慧城市场景建设（实控人东湖新技术开发区）；
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