玻璃基板必然是大势所趋

玻璃基板的另一大优势是其出色的平整度，这对于面板级光刻工艺至关重要，因为对准和特征均匀性对于实现高分辨率图案化至关重要。玻璃基板可确保光刻过程中焦平面对准的一致性，从而能够以出色的精度和可重复性创建细间距互连和复杂电路图案。
　　此外，玻璃基板的平整度可地减少图案扭曲或错位等缺陷的发生，从而提高半导体器件的产量和可靠性。这反过来又提高了制造产量和整体器件性能，特别是在需要严格公差和高集成度的应用中。
　　过渡到玻璃还支持工艺流程。玻璃在一系列加工条件下具有可预测的行为，可限度地减少工艺变量。一旦解决了处理问题，工程师就可以围绕可靠且一致的响应材料微调其工艺，从而提高生产线的效率和可预测性