都是玻璃基板TGV加工成孔必不可少的加工辅材
1、玻璃通孔（TGV）成孔技术
制约玻璃通孔技术发展的主要困难之一就是玻璃通孔成孔技术，需要满足高速、高精度、窄节距、侧壁光滑、垂直度好以及低成本等一系列要求。玻璃通孔成孔技术可以分为喷砂法、光敏玻璃法、聚焦发电法、等离子体刻蚀法、激光烧蚀法、电化学放电加工法、激光诱导刻蚀法。
使用激光诱导刻蚀法通过脉冲激光诱导玻璃产生连续的变性区，再将激光处理过的玻璃放到氢氟酸溶液进行刻蚀，变性区玻璃在氢氟酸中刻蚀速率较未变性玻璃更快，以形成通孔。其中，玻璃诱导刻蚀法如下：
（1）使用皮秒激光在玻璃上产生变性区域；
（2）将激光处理过的玻璃放在氢氟酸溶液中进行刻蚀；
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