东京电子在涂胶显影设备领域占有全球89%市场份额，除此之外东京电子在干法刻蚀、薄

东京电子在涂胶显影设备领域占有全球89%市场份额，除此之外东京电子在干法刻蚀、薄膜沉积、清洗、探针台领域均有超过25%市占率；同时，日本设备厂商在炉管、离子注入、CMP、量检测设备均占有一定的全球份额。荷兰的阿斯麦则主导了全球光刻机市场，拥有82.4%的市场份额。在高端浸润式DUV光刻机这个领域，ASML占有超过90%的市场份额；而在EUV光刻机领域，ASML更是拥有全球100%市场份额，因为全球仅有ASML一家能生产EUV光刻机。