近日,据迈为股份官方表示,自主研发的最新一代Micro LED激光剥离设备(LLO)和Micro LED巨量转移设备(LMT)成功完成样品验证,顺利交付至新型显示领域头部企业,助力客户端打造Micro LED产品线。

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迈为股份新一代设备

并且,迈为股份已向多家客户供应Micro LED激光剥离、巨量转移设备。巨量转移和激光剥离的效果在Micro LED制程中都占据了重要地位,直接影响着整体良率与效率,因此对其加工品质的要求也极高。 据悉,迈为股份于2022年成功开发了Micro LED激光巨量转移量产装备,新一代自主研制的Micro LED激光剥离设备采用了DPSS固体激光器,针对Micro LED晶圆进行激光剥离, 实现GaN外延层和蓝宝石衬底的分离。 相较前一代产品,迈为股份本次交付的设备升级至全新平顶光整形选择性剥离技术,配备高精密视觉成像定位系统及高精密运动控制系统,剥离效果优于准分子工艺,整体均一性高,量产良率可达到99.999%。

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Micro LED量产提速

今年,Micro LED相关项目密集推进,如京东方华灿Micro LED晶圆制造和封测基地项目、天马厦门Micro LED产线、辰显光电TFT基Micro LED显示屏生产线、巴科光电淮安Micro LED工厂、思坦科技厦门Micro LED产线等。由此也推动了Micro LED相关设备的出货。 近两月,包括业绩报告,Micro LED设备厂商表现亮眼:  7月爱思强业绩报告表示,在Micro LED 发展的推动下,用于制造 LED 的 MOCVD 设备已从一年前仅占设备收入的 5% 反弹至 43%;  7月錼创在业绩报告表示,将在第三季度交货转移设备;  7月6日东捷透露, Micro LED设备已于今年初正式出货;  7月,晶彩科在业绩报告中表示,布局的AI/AOI设备已被Micro LED等产业采用;  8月1日,海目星表示,首条Micro LED中试线于近日顺利出货,涵盖Micro LED巨量转移、Micro LED巨量焊接、Micro LED激光修复等设备,并已完成厂内FAT验收;  8月6日,考拉悠然自主研发的国内首台玻璃基Micro LED晶圆量检测设备于近日正式完成出货;  8月7日,迈为股份表示,自主研发的最新一代Micro LED激光剥离设备(LLO)和Micro LED巨量转移设备(LMT)成功完成样品验证,顺利交付至新型显示领域头部企业。 可见,Micro LED产业化进程正提速全进。为推进产业链协同交流,8月28日,『Mini背光与薄膜Micro LED商业化2.0 高峰论坛』将在深圳举行,峰会围绕去衬底的Micro LED、Mini LED在车载、微显、TV应用场景的渗透及供应链进展,通过传递有价值的产业信息,加速商业化进程和产业的整合升级。 目前,TCL华星、天马微电子、利亚德、JBD、三安光电、辰显光电、赛富乐斯、华引芯、华源智信等MLED重要玩家将莅临会议并带来相关演讲。

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