贵金属集团靶材生产线是专业从事稀贵金属溅射靶材的研发、应用基础研究和产业化的团队

贵金属集团靶材生产线是专业从事稀贵金属溅射靶材的研发、应用基础研究和产业化的团队，产品覆盖半导体分立器件、集成电路、先进分装和信息存储等领域，具有从贵金属超高纯原料、溅射靶材到贵金属回收的垂直一体化供应能力，已为国内外数十家半导体相关客户提供稀贵金属溅射靶材设计、产品供应、来料加工和贵金属残靶/废料回收等服务。
主要靶材产品种类包括：
1、半导体前端工艺：NiPt、Pt、Au、Ag、Pd、Ir、Ni、Co、Ti 、WTi、Ta、Al 等；
2、先进封装：Au、NiV7、Ni、Cr、WTi 等；
3、其它领域：
Ru、CoCrPt-X、CoPt、FePt 等；
适用机台：Naura、Oerlikon、NEXX、Anelva、Applied Materials、KDF、Metron (Varian)、MRC、Veeco、Novellus、Perkin Elmer 等;
蒸发料：Au、Ag、Pt、Ru、Ni、Ti等；
增值服务：绑定、贵金属来料加工、贵金属管理及回收业务。