近日，上海汉虹精密机械有限公司（下文简称“上海汉虹”）在拉晶实验室中，使用自行研发制造的碳化硅长晶炉成功拉制出高品质8英寸碳化硅晶体，此晶体具备优良的均匀性和低缺陷密度，直径达到200毫米标准，电阻率和晶向均符合高端应用要求，展现了汉虹出色的设备研发制造能力与工艺控制水平。
本次采用的碳化硅长晶炉，采用上进料方式，完全自动化控制，而且通过热场旋转及热场工艺稳定性设计，能够有效调整径向和轴向温度梯度，确保晶体生长过程中温度的均匀性和稳定性。
此外，上海汉虹自主研发的异地网络远程监控操作系统，实现了长晶过程的全自动控制。这套系统具备分级权限管理功能，便于工艺参数的精准控制，并支持远程操作，使得无人值守成为可能，大大提升了生产效率和安全性。
上海汉虹碳化硅炉的性能优势：
1、自动化与远程控制：上进料设计便于自动化集成，远程监控系统实现全自动控制。
2、稳定性和精确性：精准的温度、压力控制，确保长晶环境稳定；重复定位准确，快速抽空及长时间真空保压，提升控制精度。
3、人性化设计：布局紧凑合理，电控与电源集成于一体；电动升降上下料及电动炉盖设计，提高效率与安全性。
4、双真空系统：高精度与普通精度真空系统分别用于压力控制与抽真空，保障生长环境纯净。
上海汉虹精密机械有限公司，成立于2005年，作为一家专注于半导体材料晶体生产&加工设备的高新技术企业，多年来深耕于半导体材料相关设备的研究与创新，是Ferrotec集团的全资子公司。由日本磁性技术控股有限公司于1992年在华设立的企业——FerroTec（中国），其石英制品服务于全球5大国际知名半导体设备制造商，且相关产品在中国市场的占有率高达40%。这样一家全球石英制品领导者却长期以来不为大多数人所了解。据悉，该公司专业从事半导体硅片、热电半导体致冷材料与器件、半导体石英制品、精密陶瓷制品、半导体真空传动装置及大型腔体、电子束蒸发镀膜机、精密洗净、覆铜陶瓷基板（DCB、AMB、DPC）、半导体装备、单晶炉等产品的研发、制造和销售。
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