(1)激光光源
光学元件:$晶方科技(SH603005)$、炬光科技、茂莱光学、腾景科技
光学镜头:奥普光电、福光股份、波长光电
光源:$福晶科技(SZ002222)$
系统清洗:蓝英装备
(2)结构零部件
主要个股:电科数字、联合精密、$富创精密(SH688409)$
(3)物镜系统
主要个股:赛微电子、国望光学、国科精密
(4)工作台和沉浸系统
光掩膜版:华润微、路维光电、清溢光电
光刻胶:南大光电、彤程新材、上海新阳、高盟新材
涂胶显影:芯源微
空气净化设备:美埃科技
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