近日,“行家说三代半”发现,国内又有两家SiC设备企业实现技术突破,具体如下:

中国电科48所:8英寸碳化硅外延设备获得突破,外延层质量进一步提高;


三义激光:首批6&8英寸碳化硅激光滚圆设备顺利完成生产,并交付客户。

中国电科48所:

8英寸碳化硅外延设备获升级

9月5日,中国电科在官微透露,中国电科48所自主研发的8英寸碳化硅外延设备关键技术再次获得突破。

据悉,此次“全新升级”的8英寸碳化硅外延设备,具备更快、更好、更稳定的特点,通过改进激光视觉定位、晶圆自纠偏等技术,设备自动化性能更加成熟,提升产品生产效率。设备还成功引入新的掺杂技术,进一步提升产品良率,持续降低生产成本。

湖南省科技事务中心还透露,中国电科48所研发的8英寸设备在6英寸设备的基础上进行创新,其外延层的厚度以及掺杂浓度的均匀性,都得到极大的提升:8英寸生长厚度均匀性小于1.5%,掺杂浓度均匀性小于4%,表面致命缺陷小于0.4个/cm2。

三义激光:

首批碳化硅激光设备正式交付

9月5日,三义激光在官微透露,他们自主研发、生产的首批6&8英寸碳化硅激光滚圆设备顺利完成生产并正式交付客户,标志着公司在高端激光加工设备领域取得了重要进展。

据悉,三义激光碳化硅激光设备能利用高能激光束进行精准加工,提高生产效率,降低损耗,提升产品良率,为碳化硅的精细加工提供了高效、精准的解决方案,并具有以下优势:

激光非接触式加工:采用先进的激光技术,实现工件的无接触式加工,有效避免了机械应力对材料的影响,确保了加工精度与表面质量,特别适用于高精度、高要求的加工场景。

7×24小时无间断工作:设备能够在高强度、长时间运行下保持稳定性能,实现真正意义上的全天候生产,大幅提升生产效率和产能。

设备运行无需耗材:碳化硅激光设备在运行过程中无需额外耗材,大大降低了生产成本,同时减少了废弃物产生,符合绿色制造的可持续发展理念。

加工尺寸灵活设定:设备支持多种尺寸和形状的灵活加工,满足个性化、定制化生产需求,为制造业的柔性化、智能化转型提供了有力支持。

无液体污染,提升车间环境:激光加工,避免了传统加工过程中可能产生的液体污染,不仅提升了车间的清洁度和工作环境,还有助于保护操作人员的健康。

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