由中材高新氮化物公司牵头，联合中国科学院上海硅酸盐研究所、宁夏北瓷新材料科技有限公司、天津大学、中国科学院金属研究所等10家单位共同承担。针对我国半导体行业对晶舟和静电吸盘部件的迫切需求，开展碳化硅、氮化铝和氮化硅陶瓷的组分设计、晶舟及吸盘部件结构设计、高精度制备、精密加工、表面改性等系统研究，突破12英寸晶圆用碳化硅晶舟、氮化铝和氮化硅静电吸盘的产业化制备关键技术，实现大尺寸碳化硅晶舟和氮化铝、氮化硅静电吸盘样件的研制和应用示范，并且在此基础上完成静电吸盘部件的中试量产，助力我国半导体行业的自主可控发展。
看来宁夏北瓷的粉体制造和烧结技术应该还可以
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