国内首台大型真空碳化硅冶炼炉面世！

9月9日，据常州日报消息，江苏方硕建设集团有限公司研发成功国内首台大型真空碳化硅冶炼炉，并计划投资年产20万吨高品位碳化硅项目，9月1日，该项目通过专家组论证。 据报道，该设备形状类似平躺的圆柱，长120米、直径达12米，最多能装1650吨碳化硅。据项目技术负责人介绍，该设备设计难度较大，集成了尾气回收系统，从根本上解决了烟尘的污染，能将高纯尾气中的一氧化碳与氢气合成甲醇。 报道显示，目前，大型真空碳化硅冶炼炉在我国还未投入工业化应用，作为国内首台设备，该冶炼炉在工艺和技术上进行了科学的研发设计，能耗比传统设备降低20%左右。 官网资料显示，江苏方硕建设集团有限公司成立于2017年1月，是一家集工程设计、房屋建造、建筑智能化、机电安装、环保工程、输变电工程、工程维保、工程材料销售等于一体的综合性建筑企业集团。 近期，国内企业在碳化硅设备研发和产业化方面不时传出新进展，除上述碳化硅冶炼炉外，碳化硅晶锭剥离设备也有利好消息。 此前据新闻晨报报道，8月21日，从江苏通用半导体有限公司传来消息，由该公司自主研发的国内首套8英寸碳化硅晶锭激光全自动剥离设备正式交付碳化硅衬底生产领域头部企业，并投入生产。

图：8英寸SiC晶锭激光全自动剥离设备（source：通用半导体）

据悉，该设备可实现6英寸和8英寸碳化硅晶锭的全自动分片，将极大地提升国内碳化硅芯片产业的自主化、产业化水平。该设备年可剥离碳化硅衬底20000片，实现良率95%以上，与传统的线切割工艺相比，大幅降低了产品损耗，而设备售价仅仅是国外同类产品的1/3。

 

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