格隆汇9月10日丨英诺激光(301021.SZ)于近期召开业绩说明会,就“请重点介绍下公司高功率薄片超快激光器关键技术与产业化项目在EUV光刻机方面的应用情况”,公司表示,在半导体领域,大能量、高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技术。目前公司已立项“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目,努力推进大能量、窄脉宽、高重复频率、高峰值功率和高平均功率的激光技术落地。目前公司产品未应用于EUV光刻机。

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