$英唐智控(SZ300131)$ MEMS微振镜的原理是利用静电力或电磁力使微型反射镜发生偏转，从而使入射到镜面上的光束发生偏折。具体来说，MEMS微振镜通常由一个可动的反射镜面和一个固定的支撑结构组成。当在反射镜面和支撑结构之间施加电场或磁场时，由于静电力或电磁力的作用，反射镜面会发生微小的偏转。通过精确控制电场或磁场的强度和方向，可以实现对反射镜面偏转角度的精确控制。这样，入射到反射镜面上的光束就会随着反射镜面的偏转而发生相应的偏折，从而实现光束的扫描或指向控制。
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