$衢州发展(SH600208)$  氧化镓EFG生长炉本设备专门针对EFG法生长-Ga2O3晶体开发，采用电磁感应加热方式，具有真空置换气氛、提拉、称重、数据自动记录等功能，且可升级为 “一键长晶”系统。（杭州富加镓业科技有限公司）

杭州富加镓的加工氧化镓晶体的具有自主知识产权的核心设备已对外销售。

氧化镓EFG生长炉

氧化镓晶片研抛机适用于直径150mm以下的碳化硅、氮化镓、氧化镓等片状材料的单面高精度研磨抛光加工。该设备采用二个抛光头主动驱动方式，变频调速，设备运转平稳、使用可靠、操作方便。主抛光盘采用变频器配合三相异步电机拖动，调速平缓、低速稳定性好，可实现缓启动与缓停止。（杭州富加镓业科技有限公司）