都给你们发出来，自己选择

$张江高科(SH600895)$  上海微电子装备（集团）股份有限公司（曾用名：上海微电子装备有限公司）的股权结构如下：

- 上海电气控股集团有限公司：大股东，持股比例32.0863%。

- 上海科技创业投资有限公司：持股比例13.2752%。

- 光微青合上海光微青合投资中心（有限合伙）：持股比例11.9847%。

- 浩成创业上海张江浩成创业投资有限公司：持股比例10.7787%（张江高科通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有）。

- 泰力产业上海泰力产业投资管理有限公司：持股比例8.1218%。

- 高新投资高新投资发展有限公司：持股比例7.2357%。

- 超精投资上海超精投资管理中心（有限合伙）：持股比例6.1767%。

- 超光影上海超光影投资管理中心（有限合伙）：持股比例3.3614%。

- 纳微投资上海纳微投资管理中心（有限合伙）：持股比例3.3009%。

- 上微精控上海上微精控投资管理中心（有限合伙）：持股比例3.1617%。