工信部推广国产氟化氩光刻机 核心技术新突破
观察者网 2024-09-15 09:01:05
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近期，工业和信息化部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。这一目录聚焦于国家重器——重大技术装备，它们对国家的综合国力与安全具有深远影响。所谓首台（套）重大技术装备，特指那些在国内实现技术飞跃、具备自主知识产权但市场业绩尚未显现的装备产品，涵盖整机、核心系统及关键零部件等多个层面。
在该目录的电子专用装备部分，特别提到了集成电路设备的进展，例如氟化氩光刻机。这款设备采用193纳米光源，其分辨率已达到65纳米以下，套刻精度更是控制在8纳米以内。这一信息透露出我国在高端制造领域的最新技术动态。
此目录的公布，不仅展示了我国在重大技术装备自主研发方面的最新成果，也标志着对相关产业未来的推广与应用寄予厚望，旨在推动产业升级和技术进步。（责任编辑：张小花 TT1
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