目前，国内被认为是光刻机制造龙头企业的主要有以下几家（排名不分先后）：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
• 公司是国内技术最领先的光刻设备厂商，已实现 90nm 制程，在细分市场中具有较高国内市场占有率。
• 拥有先进的封装光刻机技术，是封测龙头企业的重要供应商，国内市场占有率高达 80%，全球市场占有率达 40%。
• 公司的 LED/MEMS/功率器件光刻机性能指标领先，LED 光刻机市占率第一。
福晶科技
• 公司研发的 KBBF 晶体为可直接倍频产生 EUV 激光的非线性光学晶体，是光刻机的重要上游材料。
蓝英装备
• 全球领先的清洗系统和表面处理设备及解决方案提供商，其控股子公司为荷兰光刻机制造商 ASML 提供精密清洗解决方案。
张江高科
• 公司子公司张江浩成持有微装公司 10.779%的股权，微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产 IC 前道光刻机的企业。
奥普光电
• 实控人中科院，中科院长光学所持股公司 42.4%的股权。
• 公司提供的镜头已经可以做到 90nm，可为国产光刻机提供相关光学器件。
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