$福晶科技(SZ002222)$  

福晶科技的多种产品对芯片产业具有积极作用,主要包括以下几类:

1. 非线性光学晶体:

• LBO(三硼酸锂)晶体:具有良好的光学性能和较高的激光损伤阈值,在紫外激光器中是关键材料。在芯片制造过程中,紫外光刻技术是非常重要的环节,LBO晶体可用于产生紫外激光,为芯片光刻提供高质量的光源,有助于提高芯片的光刻精度和生产效率。

• BBO(偏硼酸钡)晶体:也是一种性能优异的非线性光学晶体,在高功率激光器中应用广泛。在芯片产业中,可用于激光加工、芯片切割等工艺,其高转换效率和良好的光学特性能够保证激光加工的精度和质量,对于芯片的切割、打孔等精细操作具有重要意义。

2. 激光晶体:福晶科技生产的激光晶体是激光器的核心部件。在芯片制造中,激光晶体可用于产生激光,例如在激光退火、激光掺杂等工艺中,激光能够对芯片材料进行精确的处理,改善芯片的性能和质量。而且随着芯片制造工艺的不断发展,对激光的功率、波长等参数的要求也越来越高,高性能的激光晶体能够满足这些需求。

3. 精密光学元件:

• 衍射光栅:福晶科技采用全息技术和离子束蚀刻技术加工的衍射光栅,具有高精度和高稳定性。在芯片制造的光学检测设备中,衍射光栅可用于光谱分析、光学成像等,能够对芯片的结构、性能等进行精确的检测和分析,有助于提高芯片的成品率和质量。

• 透镜、棱镜等光学元件:这些光学元件可应用于芯片制造设备中的光学系统,如光刻机的照明系统、投影系统等。高质量的光学元件能够保证光线的准确传输和聚焦,对于提高光刻机的分辨率和光刻精度具有重要作用。

4. 激光器件:如声光调制器、电光调制器等激光器件,可用于控制激光的强度、频率、相位等参数。在芯片制造中,这些激光器件可用于激光加工设备、光刻设备等,能够对激光进行精确的调制和控制,满足芯片制造过程中对激光的各种需求。

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