光刻机相关概念股梳理
【整机部分】
张江高科：持股上海微电子10.779%的股份；
【光源部分】
波长光电：光刻机平行光源系统；
【光学器件部分】
腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链；
苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品；
晶方科技：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商；
【洁净设备部分】
蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户；
【温控部分】
海立股份：微电子装备集团的系统级合作商；
【物镜部分】
赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商；
【控制器部分】
电科数字：子公司可供货光刻机控制器；
【结构件部分】
金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理；子公司是上海微电子供应商；
【维修服务部分】
东方嘉盛：提供光刻机寄售维修服务；
$张江高科(SH600895)$$赛微电子(SZ300456)$$东方嘉盛(SZ002889)$
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