1、光刻机 整机
【上海微电子】张江高科、东方明珠、上海电气
【长春光机所】奥普光电
2、光刻机零部件
【光源】波长光电、茂莱光学、福晶科技
【物镜】赛微电子【控制器】电科数字
【洁净设备】蓝英装备、美埃科技、金力泰
【光学器件】京华激光、腾景科技、炬光科技、苏大维格、晶方科技
【结构件】新莱应材、富创精密、联合精密
【温控】同飞股份、海立股份
【服务】东方嘉盛
周一港股中芯国际早盘跳水、小心看到消息后，就是追高接盘，昨夜美股中概股大涨。
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