阿为特公司正在研发半导体光刻机的核心零部件，并且已经成功交样。虽然没有具体列出所有生产或涉及的零部件，但可以推测其产品可能包括与光源、镜头以及精密结构相关的部件，因为这些是光刻机设备的核心组成部分。此外，阿为特还专注于提供真空腔体等高精度零部件，这些零件对光刻机的绝大部分零部件具有降维打击的能力。
综合来看，阿为特公司在光刻机领域主要涉及制造核心零部件和精密机械零部件，如真空腔体等，这些零部件对于确保光刻机的性能至关重要。
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