去年6月投资者互动透露2022年LIMO光刻机机用光场匀化器收入超过2000万元增长90％。2023年上半年光刻用光场匀化器业务维持高增长，上半年发货额已达到2022年全年发货额70%。预计去年超3000万元。此外去年收购的SMO主业之一也是光刻用光场匀化器，不过目前收入毛利未知。
同时查到的2021年媒体根据炬光公告写的2021年上半年经营情况的报告，光刻机用光场匀化器单价20万左右，毛利率67.3%。
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