周一连板走起【上海微电子公开“安全快门及光刻机”发明专利】据国家知识产权局公告，

$张江高科(SH600895)$  周一连板走起

【上海微电子公开“安全快门及光刻机”发明专利】据国家知识产权局公告，上海微电子9月20日公开“安全快门及光刻机”发明专利，申请公布号为CN118672064A。本发明提供一种安全快门及光刻机。其中，所述安全快门包括：盖板、叶片、传动轴和驱动组件；盖板具有一通光孔，驱动组件设置于盖板上，且位于通光孔的侧边；传动轴分别与驱动组件和叶片相接，用于在驱动组件运动时带动叶片转动，以使叶片关闭或打开通光孔。

其中，所述传动轴具有联轴部和连接部；所述联轴部与所述连接部相接，所述连接部沿传动轴的径向延伸，且与叶片相接，以支撑叶片。可见，本发明利用传动轴上的联轴部来吸收旋转体间发生的偏心、偏角、振动振幅等轴心偏差，以提升安全快门的运动可靠性，防止卡死或运动不流畅。以及，利用传动轴上的连接部增加对叶片的支撑力，从而减小叶片的偏载力矩，提高运动流畅性。（国家知识产权局）