见证历史！不仅是这周史诗级的上涨，还有闷声大发财的中国芯片进程。$芯片ETF基金(SZ159599)$
9月上旬，工信部发文披露《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，宣布在芯片制造设备的自主研发方面取得突破，特别是在激光浸没式光刻机技术上取得了显著进展。9月10日，SMEE（SH微电子）公开一项关于极紫外（EUV）辐射发生装置及光刻设备的新专利。今年以来，以国产光刻机为代表的芯片国产替代进程屡屡提速，这条赛道值得关注。
先来科普一下，光刻机是半导体制造中的一种关键设备，它使用特殊的光源通过光罩照射到涂有光敏材料的硅片上，形成有效电路图案。根据光源的不同，光刻机可分为G-line光刻机、I-line光刻机、KrF光刻机、ArF光刻机（包括ArF Dry和ArFi，统称为DUV光刻机）、EUV光刻机等。光刻机被称为半导体工业皇冠上的明珠，是技术难度、价值量最高的半导体设备。那么近日工信部公布的光刻机技术实力如何？这次公开的氟化氩光刻机是一台 ArF Dry 光刻机，其精度极限可以理解为 65奈-米制程。虽然这个指标距离海外先进水平仍有很大的差距，但考虑到中试线和在研线，乐观预期下，国内已初步在成熟制程上具备替代的能力。
拉到整条芯片产业链来看，光刻、薄膜沉积、刻蚀是芯片制造的三大核心工艺。那么中国目前什么水平呢？
首先来看薄膜沉积，这是指在芯片纳米级结构中逐层堆叠薄膜形成电路结构。当下，先-进-制-程逻辑芯片升级与存储芯片3D化带来薄膜沉积设备需求量增大，预计2024年国内薄膜沉积设备市场规模有望突破400亿元。市场格局来看，海外厂商如AMAT、ASMI、Lam、TEL等占据薄膜沉积设备大部分市场份额，但国内薄膜沉积设备技术进展良好，拓荆科技、北方华创等厂商已顺利导入国内先进制程产线，产品精度可用于14奈-米及以上芯片的制造。
再来看刻蚀，即使用化学或物理方法有选择地在硅片表面去除不需要的材料的过程，根据工艺的不同，刻蚀机可以分为干法刻蚀和湿法刻蚀，目前，干法刻蚀已占据大部分市场。从全球市场来看，Lam、TEL和AMAT几乎垄断全球干法刻蚀设备市场。国内主要的干法刻蚀设备厂商包括北方华创、中微公司等。以目前国内晶圆厂招标数据来看，刻蚀设备国产替代率较高。目前中微公司5奈-米刻蚀机已进入台积电产线，刻蚀机在能力上基本已解决国产替代的问题。
从2023年的芯片产业链上市公司营收角度来看，清洗设备和CMP设备的国产化率已经比较高，刻蚀设备和薄膜沉积设备的国产化率在20-30%左右，其余的设备国产化率低于个位数，核心的光刻机国产化几乎为0。从工艺覆盖角度来看，除了光刻机，国产设备在成-熟-制-程上基本已经突破，除了提升成-熟-制-程设备的工艺覆盖度以外，正在积极进行先-进-技术节点的突破。
TrendForce集邦咨询预测 2023-2027年全球成-熟-制-程（28奈-米及以上）及先-进-制-程（28奈-米及以下）的产能比重大约为7：3，其中中国大陆在成-熟-制-程的占比将从2023年29%成长至2027年的33%。同时，先-进-制-程节点的突破更具战略意义，自主可控是必然。
往后看，晶圆厂扩产持续，产业相关企业或迎增长良机。逻辑芯片先-进-制-程扩产与存储芯片扩产正在进行中，而相关设备的增量是成-熟-制-程的数倍以上。随着国内晶圆厂加快突破封锁，大量扩产亦会使得芯片核心设备需求井喷，相关企业或迎来强劲成长和投资机会。
芯片板块具有高弹性的特征，中证芯片产业指数自2016以来累涨38%，表现优于同期申万电子行业指数、创业板、沪深300指数，并且在上涨行情中有望获得更高超额收益。截至到2024/9/20，中证芯片产业指数的估值57倍（PE-TTM），距离历史峰值还有超99%的空间，性价比值得关注（数据来源：中证指数有限公司，Choice金融终端，2016/1/1-2024/9/20）。
芯片ETF基金（159599）跟踪中证芯片产业指数，选取业务涉及芯片设计、制造、封装与测试等领域，以及为芯片提供半导体材料、晶圆生产设备、封装测试设备等物料或设备的上市公司证券作为指数样本，以反映芯片产业上市公司证券的整体表现，一共50只成份股，截至2024/9/20，前十大权重股为：北方华创、中芯国际、海光信息、韦尔股份、中微公司、澜起科技、寒武纪、兆易创新、长电科技、三安光电。（数据来源：深交所）
（以上信息来源：公司公告，东财基金整理）
注：基金管理人对文中提及的板块和个股仅供参考，不代表基金管理人任何投资建议，不代表基金持仓信息或交易方向，个股涨幅不代表本基金未来业绩表现，不构成任何投资建议或推介。
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中证芯片产业指数涨跌幅如下：2016年（-16.15%）；2017年（20.21%）；2018年（-41.75%）；2019年（140.85%），2020年（52.99%）；2021年（32.15%）；2022年（-37.41%）；2023年（-2.18%）;2024年1-6月（-12.30%）。数据来源：中证指数有限公司。指数历史业绩不预示指数未来表现，也不代表本基金未来表现。
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