联创电子申请光学薄膜膜厚监控装置专利，提升量产镀膜良率金融界2024-09-28

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联创电子申请光学薄膜膜厚监控装置专利，提升量产镀膜良率

金融界

2024-09-28 19:34

金融界2024年9月28日消息，国家知识产权局信息显示，江西联创电子有限公司申请一项名为“光学薄膜膜厚监控装置”的专利，公开号 CN 118703964 A，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本发明提供了一种光学薄膜膜厚监控装置，包括底壳、监控片、驱动件和卡接结构；所述底壳包括第一镀膜通孔和第二镀膜通孔，所述第一镀膜通孔位于所述底壳中间位置处；所述监控片包括内侧监控区域和外侧监控区域，所述外侧监控区域环绕所述内侧监控区域设置，其中所述内侧监控区域覆盖所述第一镀膜通孔，所述外侧监控区域覆盖所述第二镀膜通孔，所述监控片活动设置于所述底壳上；卡接结构一端与监控片连接，另外一端与驱动件连接，驱动件通过卡接结构带动监控片在底壳上旋转。本发明可以通过监控片旋转监控不同阶段的膜层厚度，精确控制镀膜厚度，提升镀膜水平，也提升了量产镀膜的良率，该装置结构简单，拆装方便，提高了工作效率。