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MEMS惯性传感器，包括MEMS陀螺仪和MEMS加速度计，均包含一颗微机械(MEMS)芯片和一颗专用控制电路(ASIC)芯片，并通过惯性技术实现物体运动姿态和运动轨迹的感知。陀螺仪和加速度计是惯性系统的基础核心器件，其性能高低直接决定惯性系统的整体表现。MEMS传感器是微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的一种应用，它通过微小的机械结构和电子器件集成在一起，实现了对物理量的测量和控制。因此，MEMS传感器可以被认为是一种芯片，通常也被称为MEMS传感器芯片。MEMS传感器芯片通常包括一个微机电系统的机械结构和与其相连的电子元件，例如集成在同一芯片上的电容、电阻、晶体管等1。
MEMS惯性传感器是利用微纳技术制造的微型惯性传感器，能够测量物体的加速度和角速度，常用于惯性导航、运动控制、姿态稳定等领域。这种传感器由质量块、弹性元件、敏感元件等机械结构件（传感器芯片）和信号处理电路（ASIC）等部分组成23。