旭光电子(600353.SH)：开发了多款大功率电子管产品，部分产品已应用于某头部国产光刻机及半导体设备制造企业
格隆汇10月10日丨旭光电子(600353.SH)在业绩说明会上表示，1）电子管作为大功率射频电源的核心器件，公司一直致力于前沿技术的研究，并积极拓展新的应用领域。近年来，公司通过不断的技术创新，根据客户需求成功开发了多款大功率电子管产品，部分产品已应用于某头部国产光刻机及半导体设备制造企业，并实现批量供货。2）关于公司的氮化铝静电卡盘项目，开发工作按项目计划顺利进行中。
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