第一、离子注入赛道是和光刻机一样难的存在。凯世通毋庸置疑是国产离子注入老大哥，强

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第一、离子注入赛道是和光刻机一样难的存在。凯世通毋庸置疑是国产离子注入老大哥，强项也是大束流。此次获奖项目所研发的大束流离子注入机系列设备是制造Logic、Memory、功率器件、CIS等产品上，特别是在先进Logic浅层离子注入上越来越重要了。

第二、凯世通的产品体系是“通用平台+关键技术模块+系统集成+应用技术”。目前在国内主流12英寸晶圆厂实现了产业化并收获了批量重复订单。

第三、从供应链角度，也布局了很多，包括微波等离子体喷枪、静电吸盘材料、真空自动化机器人、超高能射频加速器、射频电源、高精度气体流量计等多款关键零部件；其中，微波等离子体喷枪主要用于离子注入静电中和，相对于传统的灯丝型等离子体喷枪，可有效降低金属污染，从而提升芯片制造的良品率。这一零部件是满足AI、HBM、传感器为代表的新质生产力芯片严苛制造要求的关键。目前很多parts已经交付给客户进行产线验证。

期待凯世通离子注入做强做大！