$旭光电子(SH600353)$ 半导体静电吸盘被美日垄断，旭光电子开始实现国产替代 旭光电子的孙公司宁夏北瓷新材料科技有限公司收到了中华人民共和国科学技术部下发的国家重点研发计划课题任务书，该课题名称为《氮化铝陶瓷组分设计及大尺寸辅热型静电吸盘制造和应用》。
这个课题的主要目标是针对我国半导体行业对高精度静电吸盘国产化的迫切需求，开展相关的研究工作。
课题的主要研究内容包括：
- 12英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘的结构设计。
- 陶瓷材料热学和电学性能的协同调控。
- 辅热型静电吸盘的制造技术。
- 静电吸盘性能的测试表征技术。
该课题的实施有望突破多项关键技术，实现高温度均匀性和高吸附均匀性氮化铝静电吸盘样件的制备，并完成在半导体制程模拟装置中的示范应用，建立中试生产线，为国产化高性能氮化铝静电吸盘的产业化应用和发展奠定基础。
这项工作对国产替代的影响是显著的，因为目前全球静电吸盘市场主要被美日厂商垄断。
旭光电子通过承接这一课题，有望推动国产静电吸盘的产业化进程，减少对外国厂商的依赖，增强国内半导体产业的自主可控能力。
同时，旭光电子在氮化铝粉体的研发和生产上已取得重要进展，成功实现了国产替代，并成为国内首家具备全产业链商用氮化铝粉体—基板—结构件～HTCC与高端功能器件产品量产能力的企业。
这不仅提升了公司在氮化铝行业的竞争力，也为国内相关产业提供了重要的材料支撑，有助于推动整个产业链的国产化进程。
$半导体(BK1036)$
$新材料(BK0523)$
半导体静电吸盘的用途
半导体静电吸盘，也称为静电卡盘（ESC），主要用于半导体制造过程中固定和支撑晶圆。其用途包括：
1）晶圆固定
在物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、刻蚀(ETCH)等工艺中，静电吸盘能够牢固地固定晶圆，确保其在处理过程中的稳定性。
2）减少物理损伤
相比传统的机械夹持方法，静电吸盘通过静电力吸附晶圆，避免了直接物理接触，从而减少了晶圆的物理损伤。
3）提高传热效率
静电吸盘与晶圆之间的接触面积大，有助于晶圆背面的热量传递，提高传热效率。
4）保证加工精度
静电吸盘可以更均匀地固定晶圆，减少晶圆的变形，从而提高加工精度。
5）减少边缘排除区域
使用静电吸盘可以减少晶圆边缘的不均一性和边缘排除区域，提高晶圆的有效使用面积。
综上所述，半导体静电吸盘在半导体制造中起到了关键作用，它不仅用于固定晶圆，还通过减少物理损伤、提高传热效率和加工精度等方式，显著提升了半导体制造的整体效率和产品质量。
半导体静电吸盘在光刻机中是否有运用？
可以用于光刻机制造。静电吸盘在光刻机中通过静电吸附作用固定硅片，提高光刻精度和效率。它是光刻机中的重要组成部分，能够确保硅片在曝光过程中始终保持稳定，减少硅片的抖动和偏移，从而提升光刻工艺的精度和效率。此外，静电吸盘还具有调节功能，可以根据不同的硅片尺寸和厚度进行微调，确保最佳的吸附效果。
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