2024年7月，尹志尧做客《沪市汇·硬科硬客》第十期节目时讲到：“在过去20年里，我们的自主可控进程总体进展顺利，目前主要零部件的自主可控率已达到90%以上，到今年第三季度末可以达到100%。”据他介绍，中微公司的等离子体刻蚀机，包括高能CCP及ICP刻蚀机，可以全面取代国际先进设备。化学薄膜设备的覆盖度也逐步扩大，特别是在导体薄膜及EPI外延设备取得了极快的进展。接下来，中微将尽快开发出电子束检测设备，以补齐行业短板。
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