富加镓业-引领氧化镓产业化新篇章，6英寸单晶及外延片生产线正式启航
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2024年09月21日 00:09湖北
在半导体材料领域，一场由氧化镓引领的创新风暴正席卷而来。9月12日，杭州富加镓业科技有限公司（以下简称“富加镓业”）宣布其6英寸氧化镓单晶及外延片生长线于9月10日在杭州富阳正式开工建设，标志着我国在超宽禁带半导体材料氧化镓的产业化道路上迈出了坚实的一步。
富加镓业，这家成立于2019年底的年轻企业，自成立以来便专注于氧化镓材料的研发与产业化，致力于将这一潜力无限的半导体材料推向市场前沿。此次开工建设的6英寸氧化镓单晶及外延片生长线，不仅是国内首条同类生产线，更是富加镓业在技术创新与产业升级上的重要里程碑。
据富加镓业介绍，氧化镓材料以其卓越的性能与成本优势，正逐步成为继碳化硅之后最具潜力的半导体材料之一。与宽禁带半导体碳化硅、氮化镓等材料相比，氧化镓在制备成本、单晶质量、缺陷控制及尺寸扩展等方面展现出显著优势。特别值得一提的是，氧化镓材料的热处理温度及硬度与单晶硅相近，这意味着从成熟的单晶硅器件线转型至氧化镓器件线，仅需更换少量设备，大大降低了转型成本与难度。
作为国内目前唯一一家同时具备6英寸单晶生长及外延技术的公司，富加镓业已成功实现了6英寸导电型及绝缘型氧化镓单晶衬底的制备，并在单晶外延技术上取得重要突破，达到了6英寸硅基器件线产业化的关键门槛。这一成就不仅彰显了富加镓业在氧化镓材料领域的领先地位，更为我国半导体产业的转型升级注入了强劲动力。
值得注意的是，富加镓业的这一举措并非孤例。近年来，国内多家厂商和研究机构正加速布局氧化镓产业，并取得了一系列令人瞩目的成果。中国电科46所成功制备出6英寸氧化镓单晶，技术达到国际一流水平；北京铭镓半导体有限公司实现了4英寸氧化镓晶圆衬底技术突破；而镓仁半导体则联合浙江大学等科研机构，采用自主创新的铸造法成功制备了高质量6英寸氧化镓单晶及衬底片，并持续推动技术的迭代升级。
随着这些成果的不断涌现，氧化镓材料在功率器件、微波射频及光电探测等领域的应用前景日益广阔。富加镓业此次6英寸氧化镓单晶及外延片生产线的开工建设，无疑将加速推动我国氧化镓产业的成熟与发展，为全球半导体材料市场带来新的活力与机遇。
富加镓业将继续秉承创新驱动发展的理念，深耕氧化镓材料领域，不断突破技术瓶颈，提升产品质量与产能，为推动我国半导体产业的转型升级和高质量发展贡献力量。