旭光电子在光刻机方面的参与情况如下：
核心部件供应：旭光电子生产的大功率电子管产品已应用于国内头部国产光刻机企业，并实现批量供货。其大功率射频电子管作为放大器，能够将电源的功率提升至指定要求，为光刻机提供合格的射频电源，其中兆瓦级四极管的研发还填补了国内空白.
发射管产品销售：公司用于光刻机、等离子清洗 / 抛光等半导体设备领域的发射管产品已经客户验证通过，并实现批量销售。这些发射管产品工作频率范围在 0.1MHz-1000MHz 之间、输出功率范围在 1kW-1MW 之间，可满足光刻机等设备的使用需求.
氮化铝大尺寸结构件应用：公司自产的氮化铝粉体，主要性能指标经权威机构检测认证，与代表世界先进水平的日本德山为同一级别。其生产的氮化铝大尺寸结构件，已应用于半导体产业及泛半导体产业（含光伏产业）的光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜工艺、离子注入等工艺中，目前已通过国内多家半导体（含光伏）设备企业的认证及实现供货销售，从而间接参与到光刻机相关的工艺环节.